Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН)
Главная | Дисс. совет | Конкурсы | Разработки | Издания и публикации | Семинары | Контакты

Установка глубокого анизотропного
плазмохимического травления
для создания элементов МЭМС и НЭМС

Установка плазмохимического травления

  • Тип источника плазмы: плоский ICP
  • Генератор: 13,56 МГц, 1 кВт
  • Источник смещения: до 400 Вт (13,56 МГц)
  • Диаметр пластины: 150, 200 мм
  • Рабочие давления: 0,5-50 мТор
  • Система подачи газов: 4 канала, 0-200 Sccm
  • Газы: F-, Cl- содержащие, O2, H2, Ar
  • Плотность плазмы: до 3*1012 см-3
  • Температура электронов: < 4 эВ (Ar)
  • Неравномерность плазмы: < 2% на ø 200 мм
  • Скорость травления: до 6 мкм/мин (Si) и до 0,8 мкм/мин (SiO2)
  • Полная автоматизация процесса с управлением от персонального компьютера

Плазменное анизотропное травление кремния для изделий микромеханики

Фрагмент микромеханического устройства в сечении и плане кристала  
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника»
Международная конференция
«Микро- и наноэлектроника»


Симпозиум «Квантовая информатика»
Симпозиум «Квантовая информатика»

Библиотека ФТИАН
Библиотека ФТИАН


 11.06.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


И. А. Семериков
(ФИАН)

Ионная платформа для квантовых вычислений

 28.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Е. О. Киктенко
(РКЦ)

Применение кудитов в квантовых вычислениях
(Онлайн семинар (Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову по адресу yurii.a.kuznetsov@gmail.com))

 21.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


И. А. Лучников
(МФТИ)

Тензорные сети и машинное обучение для динамических и стационарных квантовых систем (по материалам кандидатской диссертации)
(Онлайн-семинар )

 14.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


А.И. Зенчук
(Институт проблем химической физики РАН, Черноголовка)

Квантовые корреляции в процессах переноса и создания квантовых состояний в системах частиц со спином ½ (по материалам докторской диссертации)
(Онлайн семинар )

 07.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Д.В. Фастовец, Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова, В.Ф. Лукичев
(ФТИАН)

Разложение Шмидта и когерентность многомерных состояний кота Шредингера
(Онлайн семинар )

 30.04.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова, К.Г. Катамадзе, Г.В. Авосопянц, В.Ф. Лукичев
(ФТИАН)

Гиперпуассоновская статистика фотонов
(Онлайн семинар )

 23.04.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Б. И. Бантыш, А. Ю. Чернявский, Ю. И. Богданов
(ФТИАН)

Сравнение методов томографии чистых и почти чистых квантовых состояний
(Онлайн семинар )

 12.03.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Г. И. Стручалин
(Центр квантовых технологий МГУ имени М. В. Ломоносова)

Теневая томография

 27.02.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Б. И. Бантыш
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Эталонное оценивание методов квантовой томографии


Г. В. Авосопянц
(Центр квантовых технологий МГУ имени М. В. Ломоносова)

Характеризация линейно-оптических интегральных схем посредством корреляционных измерений тепловых полей

 25.02.2020 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Н. А. Симонов
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Концепция пятен для задач искусственного интеллекта и построения нейроморфных систем

 18.02.2020 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

А. В. Цуканов
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Спектроскопическое измерение зарядового кубита на двойной квантовой точке с помощью фотонной молекулы

 21.11.2019 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


С. В. Винцкевич
(ИОФАН, МФТИ)

Лоренц инвариантная масса классических импульсов излучения и перепутанных состояний бифотонов
(По материалам кандидатской диссертации)

 12.09.2019 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


А. С. Трушечкин
(МИАН)

Стойкость протокола квантовой криптографии ВВ84 при несовпадающих эффективностях однофотонных детекторов

 25.06.2019 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Д. А. Абдуллаев
(РТУ МИРЭА)

Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе


Архив семинаров
На главную страницу
Написать письмо
Мобильная версия Мобильная версия  

© 2001-2020 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)
www.ftian.ru

  Яндекс цитирования