Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН)
Главная | Дисс. совет | Конкурсы | Разработки | Издания и публикации | Семинары | Контакты

Установка глубокого анизотропного
плазмохимического травления
для создания элементов МЭМС и НЭМС

Установка плазмохимического травления

  • Тип источника плазмы: плоский ICP
  • Генератор: 13,56 МГц, 1 кВт
  • Источник смещения: до 400 Вт (13,56 МГц)
  • Диаметр пластины: 150, 200 мм
  • Рабочие давления: 0,5-50 мТор
  • Система подачи газов: 4 канала, 0-200 Sccm
  • Газы: F-, Cl- содержащие, O2, H2, Ar
  • Плотность плазмы: до 3*1012 см-3
  • Температура электронов: < 4 эВ (Ar)
  • Неравномерность плазмы: < 2% на ø 200 мм
  • Скорость травления: до 6 мкм/мин (Si) и до 0,8 мкм/мин (SiO2)
  • Полная автоматизация процесса с управлением от персонального компьютера

Плазменное анизотропное травление кремния для изделий микромеханики

Фрагмент микромеханического устройства в сечении и плане кристала  
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника»
Международная конференция
«Микро- и наноэлектроника»


Симпозиум «Квантовая информатика»
Симпозиум «Квантовая информатика»

Библиотека ФТИАН
Библиотека ФТИАН

Аспирантура ФТИАН

 04.02.2021 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Фастовец Д.М.
(ФТИАН)

Разложение Шмидта и когерентность интерферирующих альтернатив
( Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com)

 28.01.2021 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


К.Г. Катамадзе
(ФТИАН)

Статистика фотонов для метрологических приложений: построение изображений и характеризация линейно-оптических схем
(Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com)

 06.10.2020 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

М.С. Рогачев
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Моделирование оптического отклика фотонных молекул на основе алмазных микродисков с NV-центрами
(по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук (Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru))

 29.09.2020 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Ф. А. Сидоров
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
(Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru)

 18.06.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова, В.Ф. Лукичев
(ФТИАН)

Томография квантовых систем в условиях ограниченной статистической устойчивости
(Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрий Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com)

 16.06.2020 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

С.А. Двинин, О. А. Синкевич, Д. К. Солихов и З. А. Кодирзода
(МГУ имени М.В. Ломоносова)

Особенности возбуждения электромагнитного поля в емкостном ВЧ разряде
(Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru)

 11.06.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


И. А. Семериков
(ФИАН)

Ионная платформа для квантовых вычислений
(Онлайн семинар)

 28.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Е. О. Киктенко
(РКЦ)

Применение кудитов в квантовых вычислениях
(Онлайн семинар )

 21.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


И. А. Лучников
(МФТИ)

Тензорные сети и машинное обучение для динамических и стационарных квантовых систем (по материалам кандидатской диссертации)
(Онлайн-семинар )

 14.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


А.И. Зенчук
(Институт проблем химической физики РАН, Черноголовка)

Квантовые корреляции в процессах переноса и создания квантовых состояний в системах частиц со спином ½ (по материалам докторской диссертации)
(Онлайн семинар )

 07.05.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Д.В. Фастовец, Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова, В.Ф. Лукичев
(ФТИАН)

Разложение Шмидта и когерентность многомерных состояний кота Шредингера
(Онлайн семинар )

 30.04.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Ю.И. Богданов, Н.А. Богданова, К.Г. Катамадзе, Г.В. Авосопянц, В.Ф. Лукичев
(ФТИАН)

Гиперпуассоновская статистика фотонов
(Онлайн семинар )

 23.04.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Б. И. Бантыш, А. Ю. Чернявский, Ю. И. Богданов
(ФТИАН)

Сравнение методов томографии чистых и почти чистых квантовых состояний
(Онлайн семинар )

 12.03.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Г. И. Стручалин
(Центр квантовых технологий МГУ имени М. В. Ломоносова)

Теневая томография

 27.02.2020 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»


Б. И. Бантыш
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Эталонное оценивание методов квантовой томографии


Архив семинаров
На главную страницу
Написать письмо
Мобильная версия Мобильная версия  

© 2001-2021 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)
www.ftian.ru

  Яндекс цитирования