Разработка, исследование и применение в технологии микроэлектроники источников пучков быстрых нейтральных частиц

16:00
В. П. Кудря, Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, Ю. П. Терентьев (ФТИАН РАН)
Разработка, исследование и применение в технологии микроэлектроники источников пучков быстрых нейтральных частиц