Пилотные установки плазмохимического анизотропного травления и плазмохимического осаждения для создания микро- и наноструктур

Установки созданы коллективом ФТИАН РАН на основе  источника индуктивно-связанной плотной плазмы низкого давления оригинальной конструкции, полностью автоматизированы и предназначены как для исследовательских лабораторий в области микро- и нанотехнологий, так и для применения в производстве. Разработка удостоена золотой медали ВВЦ на выставке «Автоматизация-2005».


А.А. Орликовский. Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. //Микроэлектроника, т.28, 1999, №5, часть 1 (с.344-362), №6, часть 2, (с.415-426).

А.А. Орликовский, К.В. Руденко, С.Н. Аверкин. Прецизионные плазмохимические процессы микроэлектроники на базе серии пилотных установок с масштабируемымICP-источником плазмы. //Химия высоких энергий, т.40, № 3, с. 220 – 232 (2006).

Leave a Reply

Your email address will not be published.

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.