Патент на изобретение RU 2691758 C1

Патент на изобретение RU 2691758 C1

«Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом двухшаговом процессе окисление-травление» Авторы: Аверкин С.Н., Антипов А.П., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Рылов А.А., Семин Ю.Ф., , 18.06.2019. Заявка № 2018130004 от 17.08.2018.

Leave a Reply

Your email address will not be published.

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.