Патент на изобретение RU 2504861 C1

Патент на изобретение RU 2504861 C1

«Способ изготовления полевого нанотранзистора с контактами Шоттки с укороченным управляющим электродом нанометровой длины»

Авторы:  Вьюрков В.В., Кривоспицкий А.Д., Лукичев В.Ф., Окшин А.А., Орликовский А. А.,Руденко К.В., Семин Ю.Ф.

Заявка №  2012122887/28 от 05.06.2012

Приоритет от 05 июня 2012 г.

Зарегистрировано в Госреестре РФ 20 января 2014 г.

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.