Малоракурсная эмиссионная томография плазмы в технологических реакторах микроэлектроники

Предложено использовать томографические методы для оптимизации конструкции реакторов с широкоапертурными источниками плотной плазмы и параметров процессов. Развиты алгоритмы и программное обеспечение для малоракурсной эмиссионной томографии плазмы, основанные на методах классической реконструктивной томографии. Алгоритмы двухракурсной томографии плазмы проверены экспериментально в широкоапертурном плазменно-иммерсионном имплантере на плазме газа BF3.


Фадеев А.В., Руденко К.В., Лукичев В.Ф., Орликовский А.А. Оптимизация томографического алгоритма реконструкции плазменных неоднородностей в технологических реакторах микроэлектроники. Микроэлектроника, т.40, № 2 (2011).

Leave a Reply

Your email address will not be published.

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.