Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии

15:00
Фадеев А.В. (ФТИАН РАН)
Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
(По материалам диссертации на соискание степени кандидата физико-математических наук)