Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления

15:00
Ф. А. Сидоров (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
(Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru)

Leave a Reply

Your email address will not be published.

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.