15:00 Ф. А. Сидоров (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН) Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления (Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru) 2020-09-29
