Автоматизированные средства мониторинга и диагностики плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники

Развита концепция применения невозмущающих методов мониторинга и диагностики плазменных технологических процессов, основанная на контроле параметров плазмы и приповерхностных слоев пластины в реакторе. Разработаны методы, средства и программное обеспечение, предназначенные для применений при разработке новых технологий для мониторинга параметров технологических процессов и контроля состояния камеры реактора, а также в качестве детекторов окончания процессов.

 

Автоматизированные средства мониторинга и диагностики плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники
Автоматизированное устройство мониторинга роста тонких диэлектрических пленок на основе спектрального эллипсометра (Фрязинский филиал ИРЭ РАН – ФТИАН), встроенного в установку плазмохимического осаждения.

 

К.В. Руденко, Я.Н. Суханов, А.А. Орликовский. Диагностика insitu и управление плазменными процессами в микроэлектронной технологии.// В кн. «Энциклопедия низкотемпературной плазмы», Под ред. Ю.А. Лебедева, Н.А. Платэ, В.Е. Фортова, М.,”Наука”, т. XII-5 (2006).

Leave a Reply

Your email address will not be published.

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.